一诺迪思风囊泵属于高纯气动往复风囊泵，对标日本 PILLAR、IWAKI 易威奇；全部过流件氟塑料材质；主要用于半导体湿制程、锂电高纯药液、LCD 酸碱化学品输送；依靠洁净压缩空气 CDA 驱动，无电机结构。
一、过流材质与高纯防污染
介质浸润全套氟塑料：泵本体高纯 PFA；风囊波纹管 ePTFE 膨体四氟；阀球阀座 PTFE；介质侧零金属接触，杜绝金属离子析出；满足 SEMI‑S2 洁净标准，适合氢氟酸、硝酸、锂电电解液原料、高纯超纯水输送。
泵内部流道做镜面抛光，降低颗粒产生；外部金属基座做 PFA 涂层防护，车间腐蚀性雾气不会腐蚀泵外壳。
温度规格：标准常温 0‑80℃；高温版本最高可达 100‑120℃；不适合 SIP 高温蒸汽灭菌。
二、对称双风囊结构，低脉动输出
左右双波纹管交替往复抽吸排出，相互抵消流量脉动；多数工况下可以不用外置脉动缓冲罐，节省设备柜内部空间。
气源压力即可无级调节输出流量；不需要变频电机；调节 CDA 供气压力，冲程改变就可以改变输出流量；
具备自吸能力；适合药液槽低位吸取输送；
对比普通气动隔膜泵：风囊波纹管柔性伸缩，没有隔膜边缘反复弯折撕裂的应力模式，疲劳寿命优于普通隔膜片。
三、驱动与安全检测设计
纯气动驱动，整机不带电机，无电火花；洁净室防爆友好；气源 4‑6bar 洁净压缩空气驱动。
内置两套传感器（标配漏液检测 + 冲程接近传感器）
漏液传感器：一旦风囊发生破损渗漏，立刻输出开关报警信号给到 PLC，及时联锁停机，防止腐蚀性药液扩散污染机台；
冲程位置传感器实时监控波纹管往复动作，识别卡滞、不动作故障；可外接 INNODIS 的 ICU 控制器做泵的冲程监控报警。
介质完全被风囊隔离，驱动侧气路与药液完全隔绝，本体无动密封，从根源消除轴封泄漏风险。
四、维护、备件与管路接口
模块化可维护结构；风囊波纹管属于独立易损件，可以单独拆解更换，不需要整体更换泵头本体，降低长期运维成本。
管路接口完全兼容半导体行业标准 PFA 管路：入珠、扩口接口，和 PILLAR、IWAKI 管路接口可以直接互换，老项目替换进口泵不用重新改管路配管，设备改造非常友好。
整机结构紧凑体积偏小，适合化学药液柜内部狭小空间法兰立式安装。
五、产品线规格
表格
| 型号系列 | 流量范围 | 吐出压力 | 定位 |
|---|---|---|---|
| IBP‑B10 | 10L/min | 0.35MPa | 小流量，药液循环、供药；机台单工位给药液供给 |
| IBP‑B20 | 20‑25L/min | 0.35MPa | 中等流量；湿法槽循环回路 |
| IBP‑B30 / B60 | 30‑60L/min | 0.32‑0.35MPa | 大流量集中化学药液分配输送 |
核心优势总结
全氟塑料无金属浸润，低析出低产尘，适配锂电、半导体高纯强腐蚀药液工况；
双风囊抵消脉动，多数工况可省去外置脉动缓冲罐；气源压力无级调流量；纯气动防爆；
标配风囊破损漏液检测 + 冲程监控，可以对接设备 PLC 联锁，工艺安全性提升；
接口与日系风囊泵兼容，可直接替换 PILLAR/IWAKI；风囊可单独更换，运维成本优于整机报废型；
韩系进口对比日系，交期更短，整机采购价格有优势，作为国产化替代中间选项。
选型短板
仍然属于往复风囊泵，风囊是疲劳易损件；不适合含有硬质固体颗粒浆料；颗粒会快速刮伤 ePTFE 波纹管；只适合清液输送；
最高输出压力上限约 0.35MPa，属于中低压泵；高压工况不适用；
没有内置流量闭环；只是通过气源压力改变冲程；负载背压变化时实际流量会有漂移；高精度定量计量工况需要后端再加流量计闭环控制；
在高端 12 英寸 Fab 的成熟度与长期寿命数据库不如老牌日系 PILLAR、IWAKI；更多用于锂电、面板、国内半导体湿法设备。
典型应用场景
锂电池配液药液循环；LCD 面板湿法刻蚀清洗；半导体湿法清洗、CMP 后清洗；化学品集中供液系统；超纯水循环输送。
