MDHP 系列是韩国 INNODIS半导体高纯高压气动开关阀，F14 代表 1/4" 规格、ICF1 为入珠式 PFA 接头、V1 是版本，主要用于半导体湿法药液输送，同系列共性特点如下：
材质与洁净特性
过流全 PFA 材质：阀体浸润区高纯 PFA，隔膜 / 密封件为改性 PTFE，无任何金属接触药液，低金属离子溶出，满足 SEMI-F57 洁净标准，颗粒析出极低，适配超净制程。
强耐化学：可耐受强酸、强碱、氧化剂、显影液、蚀刻液、超纯水、高纯溶剂等半导体常用腐蚀性药液。
高压密封性能
专门针对高压药液工况优化隔膜密封结构，相比普通 PFA 气动阀承压能力更强，高压下保持可靠零泄漏切断，解决高压工况隔膜易渗漏失效痛点。
一体式流线内腔，流体死角极少，减少药液滞留、结晶、颗粒堆积，降低工艺污染风险。
气动驱动特性
纯气动弹簧复位二位开关阀，气源 0.4~0.6MPa 洁净干燥 CDA，启闭响应快，适合自动化产线高频循环通断，可接入 PLC 远程控制。
介质腔与气动执行机构完全隔离，药液不会侵入气缸侧，保护驱动部件，延长寿命。
无电机、无电火花，天然适合易燃易爆化学品管路。
结构与安装
ICF 入珠式 PFA 接头，1/4 英寸管路，PFA 入珠连接，密封可靠，拆装方便，适配半导体标准洁净管路。
阀体紧凑小巧，占用设备空间小，方便集成在化学供液柜、湿法清洗机、微型配料模组内。
模块化结构，隔膜属于可单独更换备件，便于现场维护，降低维保成本。
适用工况与场景
介质：半导体 / 面板湿法工艺各类高纯化学品、UPW 超纯水
典型场景：晶圆清洗、刻蚀、显影、化学供液系统高压支路切断
温度：常规 0~80℃（PFA 标准区间）
简要局限
仅为开关切断阀，不具备流量调节功能；必须使用洁净无油干燥压缩空气驱动，气源含油会快速污染隔膜、缩短寿命。
